Книги автора «Панфилов Юрий Васильевич»

Элионные процессы и нанотехнологии (Панфилов Юрий Васильевич)

Методы микроскопии (Панфилов Юрий Васильевич,Власов Андрей Игоревич,Елсуков Кирилл Андреевич)

Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии (Панфилов Юрий Васильевич,Михайлов Валерий Павлович,Моисеев Константин Михайлович)

Оборудование производства микросхем и промышленных роботов (Панфилов Юрий Васильевич,Цветков Юрий Борисович,Рябов Владимир Тимофеевич)