О книге

Рассмотрены математические модели системы Si-SiO2, способы стабилизации ее структурно-примесного состава и электрофизических параметров. На основе известных публикаций и собственных теоретических и экспериментальных исследований авторы описали модели технологического процесса термического окисления кремния. Рассмотрены электронно-ионные процессы в системе Si-SiO2, а также структурный и фазовый состав ее переходной области.

Книга предназначена специалистам по проектированию и производству микросхем, студентам, аспирантам и преподавателям технических вузов. Это и многое другое вы найдете в книге Система кремний - диоксид кремния субмикронных СБИС (Г. Я. Красников, Н. А. Зайцев)

Полное название книги	Н. А. Зайцев, Г. Я. Красников Система кремний - диоксид кремния субмикронных СБИС
Тип	Книга
Авторы	Н. А. Зайцев, Г. Я. Красников
Категории	Книги, Компьютеры и Internet
ISBN	5948360083
Возрастное ограничение	18
Издательство	Техносфера
Год	2003
Название транслитом	sistema-kremniy-dioksid-kremniya-submikronnyh-sbis-g-ya-krasnikov-n-a-zaycev
Просмотров	5
Рейтинг izbe.ru	0,0