18+
На сайте представлено только описание и выходные данные книги «Формирование функциональных слоев Юрий Панфилов». Сайт не является распространителем книги. Сайт не предоставляет возможности купить, читать онлайн или скачать бесплатно книгу «Формирование функциональных слоев Юрий Панфилов». Сайт предназначен для лиц старше 18 лет. Если вам не исполнилось 18 лет - незамедлительно покиньте сайт. Оставаясь на сайте вы подтверждаете, что вам исполнилось 18 лет.
Незаконное потребление наркотических средств, психотропных веществ, их аналогов причиняет вред здоровью, их незаконный оборот запрещен и влечет установленную законодательством ответственность
Дано описание основных физических явлений при воздействии ускоренных потоков электронов, ионов и газоразрядной плазмы на поверхность обрабатываемых изделий. Рассмотрены ключевые операции изготовления микро- и наноструктур: нанесение тонких пленок в вакууме, вакуумно-плазменное травление и ионная имплантация. Акцентировано внимание на взаимосвязи между характеристиками технологических операций и показателями качества получаемых микро- и наноструктур. Приведены физико-химические модели расчета основных режимов элионной обработки. Для студентов, обучающихся по направлениям «Наноинженерия» и «Электроника и наноэлектроника».
Перед выбором сравните язык, год, издательство и формат в сведениях ниже. У одной книги могут быть разные переводы и издания.
ISBN этого издания: 978-5-7038-5350-4. По нему можно отличить издание от других версий книги.
Описание помогает оценить тему книги; отзывы читателей позволяют дополнить его личным опытом. Оценку и отзыв оставляйте после знакомства с книгой.