Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. Обобщены данные по выращиванию монокристаллов, диффузии, эпитаксии, ионной имплантации, технологии тонких пленок, литографии, сборке и герметизации. Значительное внимание уделено контролю, обеспечению качества и надежности при изготовлении микроэлектронных устройств. Это и многое другое вы найдете в книге Технология микроэлектронных устройств (З. Ю. Готра)
Технология микроэлектронных устройств З. Ю. Готра (книга)
Подробная информация о книге «Технология микроэлектронных устройств З. Ю. Готра». Сайт не предоставляет возможности читать онлайн или скачать бесплатно книгу «Технология микроэлектронных устройств З. Ю. Готра»
