В монографии изложены физические принципы и математические методы, используемые при разработке и реализации информационно-экспертной системы для неразрушающей диагностики поверхности приборов современной микро- и наноэлектроники. Книга предназначена для специалистов в области прикладных математики и физики. Она может быть использована студентами и аспирантами соответствующих специальностей вузов. Это и многое другое вы найдете в книге Диагностические информационно-экспертные системы (Н. В. Егоров, А. Г. Карпов)