Высокочастотный емкостный разряд. Физика. Техника эксперимента. Приложения Ю. П. Райзер, М. Н. Шнейдер, Н. А. Яценко

Дано исчерпывающее изложение современного состояния знаний о высокочастотном разряде емкостного типа. Рассмотрена физика разрядных процессов, техника и практические методы эксперимента, диагностики, измерений при работе с высокочастотными разрядами, теория и численное моделирование разрядного процесса. Приведены важнейшие практические приложения: для создания активной среды лазеров (разряды среднего давления), плазменной и ионной обработки полупроводниковых материалов, используемых в электронике (разрядынизкого давления). Для студентов и аспирантов физических и соответствующих инженерных специальностей ВУЗов, а также для научных работников и инженеров. Это и многое другое вы найдете в книге Высокочастотный емкостный разряд. Физика. Техника эксперимента. Приложения (Ю. П. Райзер, М. Н. Шнейдер, Н. А. Яценко)