Во второй части книги продолжено описание результатов исследований, разработки и производства субмикронных МОП-транзисторов: представлены особенности формирования канала и затвора, рассмотрены вопросы влияния горячих носителей и технологических процессов изготовления МОПТ на надежность готовых приборов.
Книга предназначена для специалистов в области проектирования и разработки технологии изготовления КМОП СБИС, а также для студентов старших курсов, аспирантов и преподавателей технических вузов. Это и многое другое вы найдете в книге Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов. В 2 частях. Часть 2 (Г. Я. Красников)
