В книге рассмотрены основные технологические процессы производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. В 3-е издание (2-е - в 1979 г.) введены новые разделы, посвященные технологическим процессам радиационной обработки материалов и приборов, новейшим конструкциям корпусов интегральных микросхем, а также полупроводниковым материалам. Это и многое другое вы найдете в книге Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем (А. И. Курносов, В. В. Юдин)