Описаны основные этапы промышленного изготовления интегральных микросхем. Рассмотрены свойства и основные виды активных и пассивных элементов интегральных схем, их конструкции и области применения.
Приведены сведения о планарном процессе изготовления интегральных микросхем, а также рассмотрены процессы ионной имплантации и лазерной обработки.
Книга предназначена для средних профтехучилищ, готовящих рабочих полупроводникового производства. Это и многое другое вы найдете в книге Основы полупроводниковой микроэлектроники (А. И. Курносов, В. А. Брук)