Учебное пособие посвящено технологии получения основных компонентов микро-, опто- и наноэлектроники: металлов, легирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов, металлоорганических соединений и вспомогательных материалов.
Для студентов, обучающихся по направлению "Электроника и микроэлектроника". Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области. Это и многое другое вы найдете в книге Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники. Часть 2 (В. М. Рощин, М. В. Силибин)