Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблона и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии. Это и многое другое вы найдете в книге Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов (Джордж Р. Брюэр, Джеймс С. Гринич, Дональд Р. Херриот)
Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов Джордж Р. Брюэр, Джеймс С. Гринич, Дональд Р. Херриот
Подробная информация о книге «Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов Джордж Р. Брюэр, Джеймс С. Гринич, Дональд Р. Херриот». Сайт не предоставляет возможности читать онлайн или скачать бесплатно книгу «Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов Джордж Р. Брюэр, Джеймс С. Гринич, Дональд Р. Херриот»
