В книге рассмотрены технологические процессы химической обработки, фотолитографии и изготовления фотошаблонов в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Приведены основы теории этих процессов, методы и средства контроля качества обработки, технологические операции и оборудование. Это и многое другое вы найдете в книге Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем (О. К. Мокеев, А. С. Романов)