Изложены особенности обработки монокристаллов, имеющих наиболее широкое применение в микроэлектронике. Приведены основные процессы, инструменты и оборудование.
Обработка монокристаллов в микроэлектронике Карбань Валерий Иванович, Борзаков Юрий Иванович
Подробная информация о книге «Обработка монокристаллов в микроэлектронике Карбань Валерий Иванович, Борзаков Юрий Иванович». Сайт не предоставляет возможности читать онлайн или скачать бесплатно книгу «Обработка монокристаллов в микроэлектронике Карбань Валерий Иванович, Борзаков Юрий Иванович»
