Оборудование производства микросхем и промышленных роботов Панфилов Юрий Васильевич, Цветков Юрий Борисович, Рябов Владимир Тимофеевич

Учебник для техникумов. Изложены конструкции и принцип действия оборудования для производства интегральных микросхем (ИС), основы рототехники и гибких автоматизированных систем. Описаны принципы управления с использованием ЭВМ и микропроцессоров. Приведены материалы по анализу конструкции сборочного химико-технологического, фото-рентгено, электро-литографического оборудования. Ч/б рисунки и схемы. Список литературы - 13 названий. Тираж 20 000 экз. Коленкоровый переплет. Это и многое другое вы найдете в книге Оборудование производства микросхем и промышленных роботов (Панфилов Юрий Васильевич, Рябов Владимир Тимофеевич, Цветков Юрий Борисович)