Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве Ю. А. Быстров, Е. А. Колгин, Б. Н. Котлецов

Подробная информация о книге «Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве Ю. А. Быстров, Е. А. Колгин, Б. Н. Котлецов». Сайт не предоставляет возможности читать онлайн или скачать бесплатно книгу «Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве Ю. А. Быстров, Е. А. Колгин, Б. Н. Котлецов»

Ю. А. Быстров, Е. А. Колгин, Б. Н. Котлецов - «Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве»

О книге

Рассматриваются различные методы и средства измерения линейных размеров, толщин и глубин топологических элементов интегральных микросхем с позиций их применимости для неразрушающего и оперативного контроля в процессе производства. Указаны пути совершенствования и оценены предельные возможности каждого из методов. Приводятся рекомендации по выбору структурных схем и алгоритмов для решения задачи автоматизации процесса измерения.Издательство: Радио и связь Это и многое другое вы найдете в книге Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве (Ю. А. Быстров, Е. А. Колгин, Б. Н. Котлецов)

Полное название книги Ю. А. Быстров, Е. А. Колгин, Б. Н. Котлецов Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве
Авторы Ю. А. Быстров, Е. А. Колгин, Б. Н. Котлецов
Ключевые слова научная литература, нехудожественная литература
Категории Образование и наука
ISBN 5256000063
Издательство
Год 1988
Название транслитом tehnologicheskiy-kontrol-razmerov-v-mikroelektronnom-proizvodstve-yu-a-bystrov-e-a-kolgin-b-n-kotlecov
Название с ошибочной раскладкой nt[yjkjubxtcrbq rjynhjkm hfpvthjd d vbrhj'ktrnhjyyjv ghjbpdjlcndt .. f. ,scnhjd-t. f. rjkuby-,. y. rjnktwjd