Технология и конструирование интегральных микросхем А. С. Березин, О. Р. Мочалкина

Рассмотрены основные вопросы технологии и конструирования интегральных микросхем. Описаны процессы пленарной технологии полупроводниковых ИС, технологические процессы производства пленочных ИС, методы проектирования элементной базы и конструирования ИС в целом, конструктивно-технологические особенности БИС. Для студентов радиотехнических и радиофизических специальностей вузов. Может быть полезна широкому кругу специалистов, занимающихся созданием интегральных микросхем и радиоэлектронной аппаратуры на их основе. Это и многое другое вы найдете в книге Технология и конструирование интегральных микросхем (А. С. Березин, О. Р. Мочалкина)