Электронно-зондовые методы исследования полупроводниковых материалов и приборов А. Ф. Сидоров, С. Г. Конников

В книге описывается методика рентгеноспектрального микроанализа полупроводниковых материалов. Рассмотрены применения отраженных и вторичных электронов, катодолюминесценции, тока, индуцированного электронным зондом для исследования полупроводниковых приборов. Книга рассчитана на широкий круг инженерно-технических работников, специализирующихся в области технологии и исследования полупроводниковых материалов и приборов. Это и многое другое вы найдете в книге Электронно-зондовые методы исследования полупроводниковых материалов и приборов (С. Г. Конников, А. Ф. Сидоров)