Вакуумно - термические и термические процессы в полупроводниковом производстве О. С. Моряков

В книге описаны вакуумно - термические и термические процессы и оборудование для изготовления полупроводниковых приборов сплавлением, диффузией, планарной и элионной технологией, приведен материал по нанесению эпитаксиальных, диэлектрических и металлических пленок, а также получению паяных и сварных соединений. Второе издание дополнено материалами по сборке полупроводниковых приборов, изготовлению корпусов и их герметизации, а также применению электронного, лазерного, плазменного и других электрофизических методов обработки.Издательство: Высшая школа Это и многое другое вы найдете в книге Вакуумно - термические и термические процессы в полупроводниковом производстве (О. С. Моряков)