Рассмотрены физические основы ионно-плазменных технологий, которые используются в производстве электронных приборов, и методы их контроля. Приведено описание конкретных процессов и установок ионно-плазменных технологий, а также оптических контрольно-измерительных средств.Издательство: Энергоатомиздат Это и многое другое вы найдете в книге Ионно-плазменные технологии в электронном производстве (В.Т.Барченко,Ю.А.Быстров,Е.А.Колгин)