Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии Панфилов Юрий Васильевич, Михайлов Валерий Павлович, Моисеев Константин Михайлович

Методические материалы по дисциплине «Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии» содержат нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекций, лабораторных работ, перечень учебных видеоматериалов, слайдов, плакатов и другие дидактические материалы для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине. Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия». Будет полезен всем, занимающимся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения. Это и многое другое вы найдете в книге Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии (Михайлов Валерий Павлович, Моисеев Константин Михайлович, Панфилов Юрий Васильевич)