Методы литографии в наноинженерии Макарчук Владимир Васильевич, Родионов Илья Анатольевич, Цветков Юрий Борисович

Методические материалы по дисциплине «Методы литографии в наноинженерии» содержат ее нормативную базу, рекомендации по организации и проведению лекций, практических занятий, семинаров, лабораторных работ и деловых игр, перечень учебных видео- и аудиоматериалов, слайдов, типовых плакатов и другие дидактические материалы, необходимые для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине. Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия». Будут полезны всем, занимающимся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения. Это и многое другое вы найдете в книге Методы литографии в наноинженерии (Макарчук Владимир Васильевич, Родионов Илья Анатольевич, Цветков Юрий Борисович)