Радиацоинно-термическая обработка МОП-приборов и интегральных схем Виктор Попов und Григорий Протопопов

В книге рассмотрены особенности планарных МОП-структур на основе кремния и физические особенности строения пленки оксида кремния на кремнии. Отмечается роль механических напряжений в структуре "оксид кремния-кремний". Приводятся результаты исследования эффекта радиационно-термической обработки (РТО). Предлагается применение РТО для выявления аномальных структур и для диагностики технологического процесса изготовления изделий с МОП-структурой. Это и многое другое вы найдете в книге Радиацоинно-термическая обработка МОП-приборов и интегральных схем (Виктор Попов und Григорий Протопопов)