Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы. Учебник для бакалавриата и магистратуры Гуляев Ю.В. - Отв. ред.

Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры — технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки. Это и многое другое вы найдете в книге Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы. Учебник для бакалавриата и магистратуры (Гуляев Ю.В. - Отв. ред.)