Контроль новых технологий в твердотельной СВЧ электронике Ю. В. Колковский, Ю. А. Концевой, В. В. Груздов

В книге представлено обобщение накопленного опыта по созданию методов входного и технологического контроля при разработке и производстве СВЧ транзисторов на основе широкозонных материалов, в частности, транзисторов на гетероструктурах типа AIGaN/GaN. Рассмотрены системы отечественных и зарубежных стандартов, на основе которых проводятся разработки СВЧ транзисторов. Подробно описаны физические основы гетероструктур, описаны свойства широкозонных полупроводников, методы изготовления СВЧ транзисторов. Детально анализируется технология производства транзисторов с учетом имеющегося опыта их реального изготовления. Рассмотрены электрические, оптические, рентгеновские, электронно-микроскопические и аналитические методы, которые применяются при входном и технологическом методах контроля. Рассмотрен опыт создания в ОАО "НПП «Пульсар" СВЧ транзисторов и СВЧ блоков на их основе. Книга будет полезна специалистам в области электроники, исследователям, инженерам-практикам и... Это и многое другое вы найдете в книге Контроль новых технологий в твердотельной СВЧ электронике (В. В. Груздов, Ю. В. Колковский, Ю. А. Концевой)