Книга состоит из трех разделов, посвященных электронной технологии, ионной технологии, применению молекулярных потоков. По каждому методу даются сведения о его физических основах, особенностях технологических процессов, приводятся описания типичного оборудования. Это и многое другое вы найдете в книге Процессы и установки электронно-ионной технологии. Учебное пособие (В. Ф. Попов, Ю. Н. Горин)