"Учебное пособие разработано в соответствии с государственным образовательным стандартом высшего профессионального образования по направлению подготовки дипломированных специалистов 11.04.04 ""Электроника и наноэлектроника"". Впервые технологии микро- и наноэлектроники рассмотрены неразрывно с технологиями высокочистых веществ и материалов в основополагающем ключе ""высокая чистота материала - высокое качество продукции"". Рассмотрены основные процессы получения высокочистых веществ и материалов на их основе, процессы и технологии получения эпитаксиальных структур кремния, арсенида галлия и др., технологии их обработки при переходе к компонентам электронной техники.
Пособие может быть использовано студентами всех форм обучения, в том числе и по смежным специальностям, как для самостоятельной работы, так и выполнения курсовых проектов, а также в качестве конспекта лекций по курсу ""Технология материалов электронной техники"". Содержит перечень контрольных вопросов для оценки усвоения студентами материала." Это и многое другое вы найдете в книге Базовые технологии микро- и наноэлектроники (Воротынцев Владимир Михайлович)