"Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве.
Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры ""Электроника и наноэлектроника"", ""Конструирование и технология электронных средств""." Это и многое другое вы найдете в книге Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов (Родионов Юрий Анатольевич)