Технология пьезо- и акустоэлектроннных устройств В. А. Мостяев, В. И. Дюжиков

Излагаются технологические процессы изготовления пьезоэлектронных и акустоэлектронных устройств на объемных и поверхностных акустических волнах, в основном резонаторов и фильтров. Рассматриваются некоторые свойства кристаллов кварца, берлинита, лингасита, ниобата и танталата лития, методы обеспечения и оценки их качества, ориентации, механической и химической обработки кристаллических элементов и пьезоподложек, нанесения пленок, сборки, настройки и герметизации пьезоэлементов и элементов акустоэлектроники в устройствах регулирования и фильтрации частот. Особое внимание уделяется технологии изготовления новых элементов ПЭУ и АЭУ - тонкопленочным резонаторам и фильтрам. Рассчитана на научных работников и специалистов, занимающихся исследованием и производством пьезо- и акустоэлектронных устройств. Будет полезна студентам и аспирантам соответствующих специальностей. Это и многое другое вы найдете в книге Технология пьезо- и акустоэлектроннных устройств (В. А. Мостяев, В. И. Дюжиков)