Физика гетероэпитаксиальных пленок. Особенности получения наноразмерных пленок сложных оксидов Е. М. Сова, В. М. Мухортов

В данном учебном пособии излагаются основные принципы технологии создания гетероструктур на основе сегнетоэлектриков, обсуждаются различные методы, их достоинства и недостатки. Подробно анализируется метод высокочастотного катодного распыления для получения пленок сложных оксидов. Предназначена для научных работников, преподавателей, аспирантов, студентов физических вузов. Это и многое другое вы найдете в книге Физика гетероэпитаксиальных пленок. Особенности получения наноразмерных пленок сложных оксидов (Е. М. Сова, В. М. Мухортов)